Kas W / S reiškia metalo atsparumas modelis?

[flushrat]

į 80Nm hspice biblioteka
Yra trys metalo 1 atsparumas modelis: rm1l rm1s rm1w
rm1l: su 1 W metal / S = 0.108/0.324
rm1s: su 1 W metal / S = 0.108/0.108
rm1w: su 1 W metal / S = 0.324/0.162

Ką W / S "reiškia?

 

[dipswitch]

Paprastai, kai daroma nuoroda į metalo, W / S reiškia Plotis / kosmosas.Ty, įvairių metalo aikštę galima naudoti maketą.

Paini dalykas čia yra tai, kad erdvė neturėtų turėti įtakos atsparumas, todėl ji neturėtų būti įtraukta į pasipriešinimo pavyzdys.Tačiau tai bus labai poveikį talpos, ir todėl turėtų būti įtraukta į bet modelio, talpa.

Jei po modeliai, galime pasakyti, tikrai.

 

[jcpu]

Citata:

Paini dalykas čia yra tai, kad erdvė neturėtų turėti įtakos varža

 

[flushrat]

Čia yra modelio dalis, vienintelis skirtumas tarp metalo atsparumą modelių sluoksnio varžą.
. LIB TT_RES
. Parametras
......
r_rm1l = 0,0791 r_rm1s = 0,115 r_rm1w = 0,109
.......
. Endl TT_RES
*********************************** Su W 1 Metal / S = 0.108/0.324 ***** ******************************
. subckt rm1l N1, N2 ilgis L = W = plotis skalėje = 1 m = 1
. Parametras rsh = r_rm1l
. Parametras DW = 0
. Parametras pvc1 = 0 pvc2 = 0 ptc1 = 2.846E-03 ptc2 =-5.351e-07
. Parametras PT = "nuotaikos"
. Parametras tfac = '1 .0 ptc1 * (PT-25,0) ptc2 * (PT-25,0) * (PT-25,0) "
R1 N1, N2 "rsh / m * L * skalė / (m * skalė-DW) * (1 pvc1 * (ABS (v (N2, n1)) / l / scale) pvc2 * (v (N2, n1) / l / mastu) * (v (N2, n1) / l / mastu)) * tfac "
. galai rm1l

*********************************** Su W 1 Metal / S = 0.108/0.108 ***** ******************************
. subckt rm1s N1, N2 ilgis L = W = plotis skalėje = 1 m = 1
. Parametras rsh = r_rm1s
. Parametras DW = 0
. Parametras pvc1 = 0 pvc2 = 0 ptc1 = 2.846E-03 ptc2 =-5.351e-07
. Parametras PT = "nuotaikos"
. Parametras tfac = '1 .0 ptc1 * (PT-25,0) ptc2 * (PT-25,0) * (PT-25,0) "
R1 N1, N2 "rsh / m * L * skalė / (m * skalė-DW) * (1 pvc1 * (ABS (v (N2, n1)) / l / scale) pvc2 * (v (N2, n1) / l / mastu) * (v (N2, n1) / l / mastu)) * tfac "
. galai rm1s

*********************************** Su W 1 Metal / S = 0.324/0.162 ***** ******************************
. subckt rm1w N1, N2 ilgis L = W = plotis skalėje = 1 m = 1
. Parametras rsh = r_rm1w
. Parametras DW = 0
. Parametras pvc1 = 0 pvc2 = 0 ptc1 = 2.846E-03 ptc2 =-5.351e-07
. Parametras PT = "nuotaikos"
. Parametras tfac = '1 .0 ptc1 * (PT-25,0) ptc2 * (PT-25,0) * (PT-25,0) "
R1 N1, N2 "rsh / m * L * skalė / (m * skalė-DW) * (1 pvc1 * (ABS (v (N2, n1)) / l / scale) pvc2 * (v (N2, n1) / l / mastu) * (v (N2, n1) / l / mastu)) * tfac "
. galai rm1w

 

[dipswitch]

Tiesą sakant, jcpu yra teisingas, microloading poveikis plazmos metalo etch turės įtakos tikrasis plotis palyginti sudarytas plotis.Tačiau du dalykus: visų pirma, mes vietoj manekeno metalo užpildyti padaryti kuo vienodesnes tankis.Antra, aš niekada nemačiau 40% padidinti rsh dėl šio poveikio.Ji turėtų būti gerokai mažesnis, ypač tarp 0,162 ir 0,324 kosmoso erdvę, nes tai turėtų būti lengvai pašalinti procesas spec bent 80Nm.

Negaliu sugalvoti galutinį atsakymą.Anyone else?